本文摘要:
蓝色LED和蓝紫色半导体激光器用基板未来将会使用铝镁酸钪(ScAlMgO4,别称:SCAM)。SCAM的特点是,与GaN的晶格失配度只有1.8%,便于诱导晶格等结晶缺失。与使用蓝宝石基板比起,更容易提升蓝色LED的电流密度。图示:SCAM结晶沦为GaNLED 以前的SCAM结晶不是单晶,而是多晶,且尺寸只有小拇指大小,现在福田结晶技术研究所顺利研发出有了口径为2英寸的高品质SCAM单晶。 使用的是“转动拉升法(CZ法)”。蓝色LED和蓝紫色半导体激光器用基板未来将会使用铝镁酸钪(ScAlMgO4,别称:SCAM)。SCAM的特点是,与GaN的晶格失配度只有1.8%,便于诱导晶格等结晶缺失。与使用蓝宝石基板比起,更容易提升蓝色LED的电流密度。图示:SCAM结晶沦为GaNLED 以前的SCAM结晶不是单晶,而是多晶,且尺寸只有小拇指大小,现在福田结晶技术研究所顺利研发出有了口径为2英寸的高品质SCAM单晶。
使用的是“转动拉升法(CZ法)”。 经常出现了把SCAM结晶作为生长GaN类半导体的基板用于的动向。福田结晶技术研究所批量生产了口径为2英寸的SCAM结晶。目前主要面向LED,将来还想用作功率元件。
SCAM可通过降解加工法从硅锭制作晶圆,因此未来将会构建低成本化。
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蓝色LED和蓝紫色半导体激光器用基板未来将会使用铝镁酸钪(ScAlMgO4,别称:SCAM)。SCAM的特点是,与GaN的晶格失配度只有1.8%,便于诱导晶格等结晶缺失。...
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